??擴散泵:這些氣體噴射泵使用加熱的油,該油會沸騰并捕獲氣態分子,并推動其他顆粒并產生真空。他們使用硅油或聚苯醚,這可能很昂貴。即使這樣,這些泵仍是辛勤工作且高度可靠。
??旋片泵:這些高性能泵往往是較便宜的選擇,但它們也使用機油,這會增加成本。它們可以達到極限真空度并具有可變的排量,但確實需要定期維護以使其長期運行。
??隔膜泵:隔膜泵不使用油,因此,它們耐腐蝕并且幾乎不需要維護,結果,它們的成本更高。
??混合泵:這些泵既有隔膜泵又有旋轉葉片。隔膜對泵旋轉部分的油保持負壓,防止溶劑或污染物在油中冷凝。結果,這些泵中的機油使用壽命比其他機油泵長10倍。它們的維護成本低且耐腐蝕,因此,盡管它們的成本更高,但隨著時間的推移它們往往會節省成本。
??渦旋泵:渦旋泵是使用螺旋渦旋壓縮空氣蒸汽的干式泵。由于它們無油,因此幾乎不需要維護。但是,它們確實需要較高的前期成本。每使用40000小時,也需要更換卷軸。